就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產(chǎn)品，
做到極致認真
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環(huán)真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
產(chǎn) 品 中 心
products
精密烤膠臺，高精度烘膠機概述：
用于晶圓的單面烘烤，可用于預烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復性好?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。
精密烤膠臺，高精度烘膠機技術性能：
加熱面積尺寸：160mm*160mm、220mm*220mm，多尺寸定制
控溫范圍：室溫--200、300/400/500/600℃
溫度分辨率 ：0.1℃
溫度波動度：≤±0.5℃
溫度均勻性：≤±0.5/1℃
電源輸入：AC220V 10A
加熱功率：1500W
熱板表面: 由硬質(zhì)陽極氧化鋁制成
精密烤膠臺，高精度烘膠機特點：
穩(wěn)定性能非常好，溫度穩(wěn)定度可達±0.5℃。
溫度調(diào)節(jié)范圍寬：室溫-500℃
采用閉環(huán)控制，升溫速度快。
具有定時功能。同時帶倒計時顯示功能。
采用數(shù)字按鍵控制溫度與時間，溫度與時間設定更加精確。
機身全部采用不銹鋼，耐酸耐堿耐腐蝕。
針對客戶基片尺寸大小，提供加熱板定制服務。
可選配功能：
支撐pin材料
邊緣支撐pin
N2吹掃，無氧化烘烤
烘焙距離可調(diào)模組
真空腔體
智能型控制系統(tǒng)
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